據(jù)中國航天科技集團(tuán)官微，中國航天科技集團(tuán)有限公司九院704所完成了萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制。
中國航天科技集團(tuán)有限公司九院704所完成了萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制，為新一代裝備和先進(jìn)工業(yè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)自主可控和升級換代提供核心關(guān)鍵產(chǎn)品。萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器主要技術(shù)指標(biāo)比傳統(tǒng)應(yīng)變式、壓阻式、電容式等原理的壓力傳感器高1~2個(gè)數(shù)量級，且具有數(shù)字化輸出、抗干擾、長壽命和抗輻照等優(yōu)點(diǎn)，技術(shù)指標(biāo)、穩(wěn)定性、可靠性和環(huán)境適應(yīng)性均達(dá)到先進(jìn)水平。
目前，該產(chǎn)品已應(yīng)用于航天發(fā)動(dòng)機(jī)壓力監(jiān)測、航空大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)等領(lǐng)域。后續(xù)，704所將基于核心MEMS敏感芯片和傳感器技術(shù)，進(jìn)一步開發(fā)儀器和感知測量系統(tǒng)，形成“芯片+傳感器+儀器+系統(tǒng)"的信息感知模式，推進(jìn)產(chǎn)品譜系化、規(guī)?；?、產(chǎn)業(yè)化發(fā)展