微型數(shù)字壓力傳感器在工業(yè)實(shí)踐中突出什么特點(diǎn)?
微壓傳感器的工作原理風(fēng)壓傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號。
微型數(shù)字壓力傳感器是一個很重要的分支,對于微型數(shù)字壓力傳感器來說,更能體現(xiàn)傳感器的靈敏度和線性度。下面是一些具體的介紹。
微型數(shù)字壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中常用的一種壓力傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、液壓機(jī)械、除塵設(shè)備等眾多行業(yè)。微型數(shù)字壓力傳感器具有廣泛的用途,目前微型數(shù)字壓力傳感器的量程還不夠小,靈敏度和線性度也不是很好,所以微型數(shù)字壓力傳感器還不能得到很好的應(yīng)用,隨著科技的發(fā)展,微型數(shù)字壓力傳感器的應(yīng)用前景將會進(jìn)一步拓展。
靈敏度和線性度是壓力傳感器重要的兩個性能指標(biāo)。為了制作出能夠滿足實(shí)際應(yīng)用需求的壓力傳感器,必需探索出一種壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。提供了一種基于對壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法,從而實(shí)現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值下對傳感器電壓輸出值的精確估計(jì),在此基礎(chǔ)上對壓力傳感器的靈敏度和線性度進(jìn)行了有效仿真。微壓傳感器發(fā)展迅速,新研制出的一類傳感器由于采用壓電單晶片結(jié)構(gòu),并內(nèi)置前置放大器,放大微弱信號并實(shí)現(xiàn)阻抗變換,從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點(diǎn)。這類傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動等微小信號的檢測,因此,迫切需要一種簡便的測量裝置測量傳感器的性能。